典型用户

双束聚焦离子束系统

聚焦离子束显微镜 品牌:荷兰FEI公司 型号:Helios Nanolab 650

仪器名称:
双束聚焦离子束系统

英文名称:
Dual beam Focused Ion Beam

所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 其他

学科领域:
冶金工程技术

主要技术指标:

主要功能:
分辨率(在束交叉点):4nm@30kV 2.5nm@30kV 加速电压: 最低加速电压不大于500V, 最高加速电压为30 kV 束流强度:束流强度:30kV下最小1.5pA,最大值不低于60nA 电子束技术要求: 电子枪类型:肖特基场发射灯丝 分辨率:在最佳工作距离:0.8nm@15

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