典型用户

光刻机

光刻机品牌：AB 型号：ABM6

仪器名称：

光刻机

英文名称：

Photolithography machine

所属分类：

分析仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

物理学

主要技术指标：

光强均匀性Beam Uniformity:： --<±1% over="" 2”="" 区域=""><±2% over="" 4”="" 区域=""><±3% over="" 6”="" 区域="" 支持正胶、负胶及su8胶等的厚胶光刻="" 特征尺寸：100um-300um="">

主要功能：

利用光化学反应，制作微结构的器件。

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