准分子激光器
激光产品
品牌:相干
型号:COMPexPro201
仪器名称:
准分子激光器
英文名称:
excimer laser
所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他
学科领域:
化学 材料科学
主要技术指标:
达到国际先进技术指标,波长:248nm,脉冲能量:700mJ,平均功率:5W,最大重复频率:10Hz,脉冲宽度:25ns,脉冲能量稳定性(1Sigma):1%,光斑大小(V×H):24×10mm,光束发散角(V×H):3×1mrad
主要功能:
利用准分子激光器轰击靶材,沉积各种薄膜材料,尤其是多组分材料,如光电子材料、光伏材料,并在此基础上,加以刻蚀,制备光电子器件。特别用来做多层膜,如同质结、异质结、超晶格等