典型用户

脉冲激光沉积系统

样品前处理工作站 品牌:大连齐维科技发展有限公司 型号:三腔体/10E-8Pa/

仪器名称:
脉冲激光沉积系统

英文名称:
PLD

所属分类:
分析仪器 > 样品前处理及制备仪器 > 其他

学科领域:
物理学 材料科学 化学工程

主要技术指标:
真空腔室:*极限真空优于10-8Pa;直径不小于300mm; 基片尺寸2英寸;加热温度800摄氏度以上; 激光能量大于700mJ; 成膜不均匀性≤±5%,重复性优于±3%

主要功能:
利用激光对物体进行轰击,然后将轰击出来的物质沉淀在不同的衬底上,得到沉淀或者薄膜的一种手段

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