典型用户

反应离子刻蚀机（RIE）

其它测量/计量仪器品牌：北京泰龙电子型号：RIE-100

仪器名称：

反应离子刻蚀机（RIE）

英文名称：

所属分类：

计量仪器 > 声学计量仪器 > 气导听力零级基准装置

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

1、13.56MHz固态射频源，功率大小10~1000W可调，带有自动匹配，实时显示入射功率、反射功率、匹配位置、偏压值等信息 2、工艺腔材质为进口铝材，内壁耐腐氧化处理；并带有可视窗口 3、下电极系统四英寸基片刻蚀，兼容四英寸以下尺寸以及碎片刻蚀；水冷控温，实现对刻蚀过程中基片表面温度的控制 4、真空系统机台真空泵组：620升/秒，分子泵，防腐处理；可控压高真空阀；工艺腔本底极限真空度达到1.2×10-2Pa以上； 5、气路系统机台配置 6 路气体可刻蚀硅基和三五族材料； 6、蚀刻不均匀性：优于±5%（4英寸硅片去边），最小刻蚀线条：1微米图形 7、配置尾气处理系统

主要功能：

刻蚀硅基和砷化镓半导体材料

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