典型用户

反应例子刻蚀系统

废气/废水处理机品牌：AMC 型号：RIE-10NR

仪器名称：

反应例子刻蚀系统

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

高选择比各向异性刻蚀；具有全自动以及全手动操作模式可供调整；具有碰触屏使数值输入以及工艺配方的储存更容易；最大可处理直径8英寸晶片；紧凑型设计可节省无尘室空间

主要功能：

刻蚀钝化材料如氮化硅、二氧化硅和氧氮化硅；微型机械的生产；失效分析

典型用户

上海新微技术研发中心有限公司

上海市企业

上海新微技术研发中心有限公司拥有射频信号源、三离子束切割仪、高分辨率X射线实时成像仪++CT断层扫描仪、IGBT功率循环及热阻测试设备、扫描电子显微镜、功率器件动静态测试设备、压力传感器自动测试设备、射频微波探针台、光传感器测试编带机、信号分析仪等科研仪器。

EMS

53台仪器 9家供应商

东京精密

41台仪器 6家供应商

PHI

12台仪器 4家供应商

2台仪器 3家供应商

5台仪器 2家供应商

AMC

2台仪器 2家供应商

11台仪器 1家供应商

ICA

6台仪器 1家供应商

悉力

1台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商