典型用户

光学镀膜机

镀膜机品牌：TE 型号：seker-60

仪器名称：

光学镀膜机

英文名称：

Optical Coating System

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

其他

主要技术指标：

1、高真空反应腔体：反应腔体尺寸：直径620mm，高800mm。 2、超高真空抽气模块：采用日本Ulvac Cryo-U 12H及Ulvac C30VR超高真空冷冻帮浦，可提供最佳的超高真空抽气速度，有效缩短制程时间，超高真空冷冻帮浦排气量为9,000l/s。 3、超高真空量测控制系统：GP-390，侦测范围：760~1E-9torr。GP-354，侦测范围：1E-2~1E-9 torr。GP-275，侦测范围范围：1000 ~ 1E-4 torr。 4、10 KW高能电子束供应系统：日本JEOL光学专业级10KW的高能电子束蒸发源。 5、高精密膜厚自动监控系统：厚度范围：0.001~999.9KA，镀率最小表示分解度为0.1A/sec。 6、6 KW热阻式蒸发源：BAFFLED BOX-EVSSO24 （钽材质）。 7、腔体端反应气体控制系统：两组美国Brooks质流量控制器，VCR高真空接头。 8、高精密离子源模块：离子能量50~200eV；离子电流最大3Amp；最大放电功率3000W；放电电压范围：40-200V；放电电流范围：0.5-10Amp；离子束发散角60度。

主要功能：

加热钨丝使外层电子动能大于束缚能而逸出，并利用高电位差加速电子及磁场控制电子束轨迹，使其撞击到蒸镀源产生高热让蒸镀源部分蒸发为气体，并在高真空的环境下附着在被镀物上。具有蒸镀各种介电质材料而形成光学层及反射层薄膜功能。系统除可以提供较快成膜速率的需求外，还获得高致密性和高均匀性薄膜。液晶银屏和智慧型电脑操作界面可以让使用者方便设定存取实验过程参数。