典型用户

洁净间及净化设备

空气净化器 品牌:中国电子系统工程第二建设有限公司 型号:定制

仪器名称:
洁净间及净化设备

英文名称:
jjjjjhsb

所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域:
机械工程

主要技术指标:
1.净化要求 2.通风 根据有关专业的要求,对需要全室通风的配电间、空调机房、纯水站等动力站部分均设置了全室通风系统,换气次数为8~12次/h。 3.净化、空调系统 设二个净化空调系统,光刻间为一个系统,其余的净化间为一个系统,系统风量分别为50000m3/h和25000m3/h,净化空调系统为CR-1和CR-2。组合式空调机组有下列功能段组成:二次回风、新风混合段,风机段,中效过滤段。空调总耗冷量为220KW,空调总耗热量为60KW。 4.净化措施 除了净化空调系统采用初效,中效,高效三级过滤以保证送风空气洁净外,各净化间均设计为正压,以防止非洁净区的空气流入洁净区。100级和1000级的洁净区正压为20Pa, 1万级生产车间正压为15Pa,更衣室正压为10Pa。 5.消声 净化空调系统的空调机组均设有消声弯头,送风机底座设有减震钢架和减震器,以保证生产和工作环境的安静。 6.保温 净化空调系统的空调风管采用难燃的橡塑海绵保温板,以保证空调机房的美观。 7.防火 设计的风管及保温均采用不燃或难燃材料,空调系统在穿越空调机房隔墙处,其送回风主管均设置防火阀(72℃时关闭),并与空调送风

主要功能:
半导体器件的成品率一般为50%左右,其中尘埃的粘污决定成品率,所以工艺现场必须要维持洁净。建设洁净间是MEMS工艺成功的前提条件。

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