典型用户

等离子体增强化学气相沉积设备

样品前处理工作站品牌：日本京都/萨姆克株式会社型号：Model PD-220NA

仪器名称：

等离子体增强化学气相沉积设备

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 样品前处理及制备仪器 > 其他

学科领域：

自然科学相关工程与技术

主要技术指标：

1样品尺寸：最大8英寸晶片；2反应室最高温度350度；3反应室漏率：不大于100pa/15h;4射频功率：30-300W；5发射功率：小于5W；6反应室极限真空：10-4pa量级

主要功能：

半导体薄膜材料制备和其他材料薄膜的制备

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