典型用户

颗粒扫描仪

数字切片扫描仪品牌：TE 型号：SP2

仪器名称：

颗粒扫描仪

英文名称：

Particle Scanner

所属分类：

物理性能测试仪器 > 颗粒度测量仪器 > 粒度分布测量仪

学科领域：

物理学

主要技术指标：

半导体集成电路制造工艺中300mm和200mm硅片表面的颗粒检测，最小灵敏度37nm

主要功能：

半导体集成电路制造工艺中硅片表面的颗粒检测。

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典型用户

北京七星华创电子股份有限公司

北京市企业

北京七星华创电子股份有限公司拥有颗粒扫描仪、薄膜/应力测试仪、原子力显微镜、3D显微镜、场发射扫描电镜等科研仪器。

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