典型用户

薄膜/应力测试仪

X射线应力分析仪品牌：TE 型号：SFX200

仪器名称：

薄膜/应力测试仪

英文名称：

Film / Stress Tester

所属分类：

物理性能测试仪器 > 力学性能测试仪器 > 表面界面张力仪

学科领域：

力学物理学

主要技术指标：

半导体集成电路制造工艺中300mm和200mm硅片表面薄膜厚度检测以及硅片应力测试，DBS光路量测膜厚的范围：300? to 25um；SE光路量测膜厚的范围：0? to 10000

主要功能：

半导体集成电路制造工艺中硅片表面薄膜厚度检测以及硅片应力测试。

典型用户

北京七星华创电子股份有限公司

北京市企业

北京七星华创电子股份有限公司拥有颗粒扫描仪、薄膜/应力测试仪、原子力显微镜、3D显微镜、场发射扫描电镜等科研仪器。

23台仪器 9家供应商

11台仪器 1家供应商

百润

10台仪器 1家供应商

荷兰AC

0台仪器 1家供应商