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原子力显微镜

扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）品牌：布鲁克型号：Dimension Icon

仪器名称：

原子力显微镜

英文名称：

Atomic Force Microscopy

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

测量模式：接触模式 (Contact Mode) 轻敲模式 (Tapping Mode) 相位成像模式（Phaseimaging）抬起模式 (Lift Mode) 横向力/摩擦力显微镜 (LFM)扫描视场范围：最大：90µm x 90µm x 10µm (X，Y，Z)噪声水平：≤0.3 &Ar

主要功能：

原子力显微镜(AFM)使用对微弱力非常敏感的弹性悬臂上的针尖对样品表面作光栅式扫描，通过检测针尖在样品表面信号变化得到样品表面信息。其能够在大气环境下准确地观测样品表面纳米尺度的三维形貌，如样品表面粗糙度、沟道深度和宽度等；同时可以对样品表面进行纳米尺度的刻蚀和加工。在半导体技术研发、工艺改进、品质控制和失效分析等方面有广泛应用。

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