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原子力显微镜

扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）品牌：布鲁克型号：Dimension ICON

仪器名称：

原子力显微镜

英文名称：

Atomic force microscope

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜

学科领域：

化学材料科学能源科学技术化学工程

主要技术指标：

X-Y方向扫描范围：90um *90um典型值，最小85um Z方向扫描范围：10um典型值，在成像及力曲线模式下；最小9.5um 垂直方向噪音基底：<30pmrms, 在合适的环境及典型的成像带宽（达到625hz）="" x-y定位噪音（闭环）：≤0.15nm="" rms，典型成像带宽（达到625hz）="" x-y定位噪音（闭环）：≤0.10nm="" rms，典型成像带宽（达到625hz）="" z传感器噪音水平（闭环）：35pm="" rms,="" 典型成像带宽（达到625hz）="" 整体线性误差（x-y-z）：0.5％="">

主要功能：

原子力显微镜（Atomic Force Microscope ，AFM），一种可用来研究包括绝缘体在内的固体材料表面结构的分析仪器。它通过检测待测样品表面和一个微型力敏感元件之间的极微弱的原子间相互作用力来研究物质的表面结构及性质。将一对微弱力极端敏感的微悬臂一端固定，另一端的微小针尖接近样品，这时它将与其相互作用，作用力将使得微悬臂发生形变或运动状态发生变化。扫描样品时，利用传感器检测这些变化，就可获得作用力分布信息，从而以纳米级分辨率获得表面形貌结构信息及表面粗糙度信息。

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