典型用户

双室蒸发镀膜系统

镀膜机品牌：智科型号：LJZDZS&ZF-500B

仪器名称：

双室蒸发镀膜系统

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 电加工工艺实验设备

学科领域：

物理学

主要技术指标：

（1）极限真空：5*10-5Pa（2）抽速：从大气抽至7*10-4Pa，用时小于40min（3）真空保持：系统停泵关机12小时后，真空度≤5Pa（4）基片加热：温度可达600度，升温速率5-20℃/min

主要功能：

双室热蒸发镀膜系统可为基片表面金属薄膜、无机非金属薄膜、有机小分子薄膜的真空状态下生长提供电子枪蒸发与电阻热蒸发两种生长模式。可用于制备光电器件的功能薄膜层，如电极、光电器件的窗口层、缓冲层、光敏层等等。

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