二次离子质谱仪

仪器名称：

二次离子质谱仪

英文名称：

Secondary Ion Mass Spectrometer

所属分类：

分析仪器 > 质谱仪器 > 无机质谱仪

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1. Multiplier Voltage SED(5kV 1nA, Cs+ beam) 1200v (<3000v) quad="" analyzer(plateau)=""><2700v) 2.="" sensitivity="" check="" 75="" amu="" negative="" ion="" peak="" on="" gaas="" without="" o-leak="" 100pa,3kv,="" cs+="" ions="" at="" 60du="" incidence="" with="" 100um="" raster="" 8.7*103cps="" (="">5*103)

主要功能：

可以分析从H开始的所有元素包括同位素，探测极限可达ppm量级，可以进行面分布，深度分析以及三维分析，纵向分辨率可达1 nm。