等离子体增强气相沉积系统
等离子体/化学刻蚀设备
品牌:浙江汇锦梯尔镀层科技有限公司
型号:磁靶/真空系统/冷却系统
仪器名称:
等离子体增强气相沉积系统
英文名称:
所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他
学科领域:
材料科学 机械工程 教育学
主要技术指标:
真空腔直径650mm,高度650mm。四个溅射靶。
主要功能:
可以在刀具、模具、各种机械零件和塑料零件表面镀覆TiN、CrN、TiAlN、CrAlTiN超硬镀层,以及DLC金刚石和GiC类石墨高硬度自润滑镀层。并可以镀制Ti/Cr/Ag/Au等金属薄膜。镀层厚度3-6μm,硬度20-40GPa,自润滑薄膜摩擦系数小于0.2