典型用户

扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：日立型号：S-3600N

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

物理学化学材料科学

主要技术指标：

2次电子像分辨率：3.0 nm（高真空方式）；反射电子像分辨率：4.0 nm；加速电压：0.3~30 kV，其中0.3~9.99 Kv（10V/步），10~30 Kv（0.1 kV/步）；放大倍率：x5~300000；最大样品尺寸：φ254 mm；灯丝：预制中心型发卡式钨灯丝；相散校正：电磁8极XY方式；视野移动：±20μm（W.D.=15 mm）；样品微动装置：5轴马达样品平台，X：150 mm；Y：110 mm；Z:5~75 mm；T：-15°~+70°；R：360°连续；图像种类：2次电子像（真高空时），反射电子像（4分割半导体式）；扫描方式：TV、慢扫（4级）、选区扫描（3级）、波形、信号监视、照相方式（4级）

主要功能：

可实现大型样品和多样品装载，也能实行低真空模式下绝缘样品的无镀层观察。最大样品尺寸直径254 mm，最大样品厚度70 mm，样品重量最大2 kg。该仪器能够对金属、陶瓷、无机颜料、有机高分子材料等样品以及各种固体材料进行表面微观形貌的观察。

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