典型用户

全自动离子束刻蚀机

废气/废水处理机品牌：北京创世威纳科技有限公司型号：MIBE-150

仪器名称：

全自动离子束刻蚀机

英文名称：

Automatic ion beam etching machine

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 电加工工艺实验设备

学科领域：

物理学电子与通信技术

主要技术指标：

1. 刻蚀室真空度极限：≤9×10-5Pa 2. 刻蚀材料：各种金属薄膜、硬质薄膜等 3. 刻蚀速率：≥100 - 2000À/min (与刻蚀材料和工艺有关) 4. 离子源：口径 12cm射频离子源。 5. Ar+离子能量范围：100 - 1000eV 6. 离子束功率密度：1w/cm2 7. 离子束流密度：  1mA/cm2 8. 离子束有效直径：≥75mm 9. 刻蚀工作台（最大刻蚀面积）：15cm 10. 工作台旋转方式：自转 0 - 30rpm。 11. 刻蚀角度：可调节，倾角调整角度 0 - 90°。 12. 刻蚀距离：可调节，调节范围18-22cm。 13. 刻蚀不均匀性：±5%（Φ3英寸范围内） 14. 电源稳定度：±1%

主要功能：

可实现对金属膜、化合物膜、硬质膜等各种薄膜材料进行高性能干法刻蚀。

同类品牌同类仪器推荐

UPFS-III-200S实验室废水处理机

品牌：杜伯特

废气/废水处理机

中高等院校实验室污水处理设备

品牌：云唐

废气/废水处理机

实验室污水处理设备

品牌：云唐

废气/废水处理机

实验室废气处理工程设备安装

品牌：麓井环境

废气/废水处理机

喷淋塔PP阻燃喷淋管喷嘴阻燃轮叶片

品牌：麓井环境

废气/废水处理机

喷淋塔风量阀

品牌：麓井环境

废气/废水处理机

推荐品牌

莱伯泰科

177台仪器 22家供应商

东京理化

455台仪器 21家供应商

青岛路博

2241台仪器 16家供应商

洛科仪器

427台仪器 11家供应商

富勒姆

82台仪器 7家供应商

CIF

113台仪器 6家供应商

典型用户

桂林电子科技大学

广西壮族自治区高校

桂林电子科技大学拥有细胞荧光成像分析系统、快速退火炉、电子探针、化学吸附仪系统、超声波扫描显微镜、高速三维变形和轨迹检测系统、台阶仪、线激光扫描头、全自动离子束刻蚀机、专业型高速地质透视仪等科研仪器。

点击发布采购需求

相关仪器品类

所使用品牌

安捷伦

1531台仪器 242家供应商

布鲁克

1383台仪器 78家供应商

日本电子

78台仪器 18家供应商

SP

65台仪器 10家供应商

EMS

53台仪器 9家供应商

MP

23台仪器 9家供应商

塞塔拉姆

70台仪器 7家供应商

新科

43台仪器 6家供应商

IL

15台仪器 3家供应商

Altechna

6台仪器 3家供应商

AS

2台仪器 3家供应商

科仪

2台仪器 3家供应商

艾柯

68台仪器 2家供应商

RA

19台仪器 2家供应商

泰思

7台仪器 2家供应商

IBA

5台仪器 2家供应商

FIS

4台仪器 2家供应商

ISI

4台仪器 2家供应商

C TECH

3台仪器 2家供应商

SI

2台仪器 2家供应商

TE

11台仪器 1家供应商

IO

11台仪器 1家供应商

百润

10台仪器 1家供应商

瑞普

10台仪器 1家供应商

BI

6台仪器 1家供应商

DE

3台仪器 1家供应商

顺安电子

1台仪器 1家供应商

GLI

1台仪器 1家供应商

CS

0台仪器 1家供应商

泰科

0台仪器 1家供应商

IV

0台仪器 1家供应商

INEL

0台仪器 1家供应商

容宇

0台仪器 1家供应商

ND

0台仪器 1家供应商

RSA

0台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商

明太

1台仪器 0家供应商