典型用户

紫外激光微加工系统

紫外、紫外分光光度计、紫外可见分光光度计、UV 品牌:北京天鹿科技有限公司 型号:RIE-100E

仪器名称:
紫外激光微加工系统

英文名称:
MEMS

所属分类:
工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 机加工工艺实验设备

学科领域:
化学工程

主要技术指标:
曝光面积100×100 mm; 最小刻蚀宽度2μm;最大刻蚀深度5μm;

主要功能:
可实现微纳结构表面加工

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