典型用户

镀膜机

镀膜机品牌：北京实力源科技开发有限责任公司型号：无

仪器名称：

镀膜机

英文名称：

coating machine

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

物理学工程与技术科学基础学科材料科学

主要技术指标：

设备极限压强优于5E-4Pa；抽速从大气到6E-3Pa抽气时间小于25分钟；漏率小于1×10-6PaL/s，停泵12小时之内压强应低于5Pa；单次制备的薄膜面积为0.7～0.8m3，膜厚不均匀性≤5%；

主要功能：

可实现真空条件下薄膜卷绕；所镀薄膜光学性能稳定可靠，重复性好，真空系统设计为低温冷凝泵抽气系统，管道中装有液氮冷却吸附防止机械泵返油。高阀为角阀，真空室预抽设有防湍流阀，避免气流紊乱污染基片。充气阀有过滤装置，阀门全部采用气动控制，所用气动换向阀全部为进口电磁换向阀。真空抽气过程分为手动/自动控制

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