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3D激光共聚焦形貌测量显微镜

工具显微镜、测量显微镜品牌：基恩士型号：VK-X200K

仪器名称：

3D激光共聚焦形貌测量显微镜

英文名称：

Laser Scanning Confocal Microscope

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 激光共焦显微镜

学科领域：

物理学化学工程与技术科学基础学科材料科学

主要技术指标：

光学变焦范围：1-8倍；测定用雷射：408纳米紫激光；扫描频率：4-120Hz（面扫描），7900Hz（线扫描）；受光素子： PMT卤素灯；物镜放大倍率：5，10，20，50，150；配自动测量软件和粒度分析软件（VK-H1XVE），X-Y 平面分辨率要求到达200纳米；Z轴扫描分辨率要求达到10纳米；观测范围大于5mm2；放大倍数需超过15000倍；可观测薄膜等透明材料；可观测透明液体；能自动对三维几何形貌进行测量；对粗糙度可进行直接评价；可自动分析图像，显示颗粒粒度等；测量头可拆卸，直接安装在大行程运动平台上；高清彩色CCD拍摄图片；可进行黑白和彩色两种模式观察； 8) 可通过多幅图像的自动拼接以实现大面积物体的观测。

主要功能：

可对物体的原貌状态在非破坏，非接触，普通的环境下进行表面分析。最高的放大倍率在24000倍。图像极限解析度最高位0.13μm。XY，宽度测量方向分辨率可以到1nm；Z，高度测量方向分辨率可到0.5nm。不需要在真空环境测量，可直接观测，可采用3D模式对被测物形状，粗糙度，表面积等进行测量，可做高度，宽度，横截面，角度，R值，表面积，体积，线粗糙度，面粗糙度等进行测量。