典型用户

磁控溅射

物理气相沉积（PVD）品牌：SK 型号：PVD75

仪器名称：

磁控溅射

英文名称：

Magnetron Sputtering

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电子产品通用工艺实验设备

学科领域：

化学信息与系统科学相关工程与技术材料科学化学工程

主要技术指标：

1.衬底尺寸：最大4英寸，向下兼容 2.坩埚尺寸：4个8cc蒸发源 3.衬底温度：加热至800℃ 4.配备一个热蒸发源 5.配备辅助沉积的离子束源 6.工艺气体：Ar/O2，MFC控制 7.配有膜厚仪实时对膜厚进行检测，实现对薄膜的厚度的精确控制

主要功能：

可沉积各种金属材料包括难熔金属、绝缘材料的高纯度、高质量薄膜样品

典型用户

厦门火炬石墨烯新材料孵化器有限公司

福建省企业

厦门火炬石墨烯新材料孵化器有限公司拥有傅里叶红外光谱仪、氮化硅PECVD、磁控溅射、扫描电子显微镜、半导体分析（介电常数测试仪）、顶空联气相色谱仪、低温超高压纳米分散系统、台阶仪、全自动微孔物理吸附分析仪、循环腐蚀盐雾箱等科研仪器。

岛津

1735台仪器 168家供应商

布鲁克

1383台仪器 78家供应商

堀场

808台仪器 44家供应商

蔡司

296台仪器 22家供应商

泰克

4台仪器 7家供应商

1台仪器 4家供应商

15台仪器 3家供应商

11台仪器 1家供应商

海蓝

1台仪器 1家供应商

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飞世尔

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德国

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