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中国科学院半导体研究所
中国科学院半导体研究所拥有拉曼光谱仪（谭平恒）、SP530全自动磁控溅射镀膜系统、分子束外延系统、飞秒瞬态吸收光谱仪（张俊）、PECVD(等离子增强化学气相淀积)、裂片机、激光直写曝光机、ICP宝石刻蚀机、激光柔性加工设备、步进式光刻机等科研仪器。
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