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6寸激光干涉仪

激光干涉仪 品牌:四川科奥达技术有限公司 型号:VeriFire ATZ

仪器名称:
6寸激光干涉仪

英文名称:

所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域:
信息与系统科学相关工程与技术

主要技术指标:
激光干涉仪由主机、无线遥控器等部分组成,具备测量各种反射面及光学系统表面面形、精密测量透射光和光学系统传输波前的功能。主要指标:①样品最大直径:150mm,②测量精度:重复性RMS<0.5nm。③空间取样992X992像素④工作波长632.8nm。⑤测量帧速:43Hz。

主要功能:
可满足测量各种反射面及光学系统表面面形、精密测量透射光和光学系统传输波前的要求。

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中国科学院光电技术研究所拥有红外显微镜、高精度三维光学轮廓仪、激光平面干涉仪、立式加工中心、红外光谱仪、24英寸激光干涉仪、数控车床、超声波扫描显微镜、光学镀膜系统、椭圆偏振仪等科研仪器。

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