典型用户

多功能真空镀膜系统

自动进样器（多功能）品牌：德仪科技（北京）有限公司型号：DE500

仪器名称：

多功能真空镀膜系统

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 其他

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

技术指标：该系统有两个真空腔室，采用机械手送样，换样时不破坏主真空室真空；配置3个2英寸强磁靶枪和1个热蒸发源，可实现磁控溅射镀膜和热蒸发镀膜；配备两台500W直流电源，一台300W射频电源；热蒸发最高温度可到达1500摄氏度；样品室退火温度可达1000摄氏度；主真空室的极限真空可达到5*10-8Torr，预真空室的真空度可达到6*10-6Torr；整机采用计算机+PLC全自动控制方式，实现智能化操作。

主要功能：

可用于磁控溅射及热蒸发镀膜；科研教学。

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