扫描电子显微镜
扫描电镜(SEM)
品牌:TE
型号:VEGA II LSU
仪器名称:
扫描电子显微镜
英文名称:
Scanning Electronic Microscope
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
包括扫描电子显微镜(主机捷克TESCAN),电制冷型X射线能谱仪、电子背散射衍射系统(英国Oxford),显微图像分析系统(德国zeiss)。显微镜分辨率:高真空模式下:30kV 时3.0nm,3kV 时8.0nm(二次电子成像),30kV 时3.5nm(背散射电子成像) 低真空模式下:30kV 时3.5nm,3kV 时<12.0nm(二次电子成像) 放大倍数:4-1000000x;x射线能谱仪元素分析范围:be4—u92;="" 能谱分辨率:mn="" ka优于130ev,c="" ka优于70ev,f="">12.0nm(二次电子成像)>
主要功能:
固体样品表面及断面微观形貌、结构观察与分析,原子衬度分析,样品微区元素成分分析等