典型用户

扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：德国型号：EVO MA15

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

其他

主要技术指标：

1. 分辨率：3.0nm@30KV(SE与W)；4.0nm@30KV(VP与BSD) 2. 加速电压：0.2-30KV 3. 放大倍数：5-1000000x 4. 探针电流：0.5PA-5μA 5. X-射线分析工作距离：8.5mm 35度接收角 6. 低真空压力范围：10-400Pa(选配：10-3000Pa)；用空气或可选的水蒸气 7. 工作室：365mm(φ)x275mm(h) 8. 5轴优中心自动样品台：X=125mm Y=125mm Z=50mm T=0-90° R=360°(连续) 9. 最大试样高度：145mm 最大试样直径：250mm

主要功能：

在材料科学研究、金属材料、陶瓷材料、半导体材料、化学材料等领域进行材料的微观形貌、组织、成分分析，各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和时失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体、晶粒的相鉴定，晶体尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。