典型用户

半自动探针台

探针台品牌：AS 型号：SUMMIT 12000b-S

仪器名称：

半自动探针台

英文名称：

Probe Tester

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电子产品通用工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

X-Y行程：203mm×203 mm X-Y分辨率：±1um X-Y重复性：≤2um X-Y定位精度：≤2.5um X-Y移动速率：>50mm/sec Z轴起落间距：5mm Z轴起落分辨率：1um Z轴起落重复率：≤1um

主要功能：

在片测试探针系统，为MEMS或IC芯片的晶圆级测试提供自动化平台，能满足200mm和150mm晶圆的测试需求。

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典型用户

江苏物联网研究发展中心

江苏省科研单位

江苏物联网研究发展中心拥有任意波形发生器、机械划片机、高压静态参数测试仪、去胶机、真空封装机、倒扣焊机、全自动金线键合机、功率探针台、晶圆研磨机、晶圆键合机等科研仪器。

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