典型用户

多弧刀具镀膜设备

镀膜机 品牌:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 型号:ZH650

仪器名称:
多弧刀具镀膜设备

英文名称:

所属分类:
工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 机加工工艺实验设备

学科领域:
材料科学

主要技术指标:
"腔体结构: 立式前开门,卧式前开门,后置真空获得系统材质用料: 腔体采用优质SUS304不锈钢材质离子弧源: 依据设备大小不同配备多套弧电源系统偏压电源: 配备大功率单级脉冲偏压电源多弧靶材: 标配多套钛靶或不锈钢靶材转动系统: 变频调速,公自转结合,可采用上传动或下传动方式"

主要功能:
在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜技术,将各种气体放电方式引入到气相沉积领域,整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。

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