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场发射扫描电子显微镜

电镜制样设备品牌：德国型号：Merlin compact

仪器名称：

场发射扫描电子显微镜

英文名称：

Merlin compact

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 其他

学科领域：

环境科学技术及资源科学技术

主要技术指标：

a.分辨率：0.8 nm@15kV；1.6nm@1kV。 b加速电压范围：20V－30kV，以10V步进连续可调。 c.放大倍数范围：12x－2,000,000x，高倍率与低倍率连续调。 d.探针电流：范围5pA－20nA。 e.可分析元素范围：Be4-Am95。 f.能量分辨率：优于129eV(Mn K)； F元素K峰优于62eV；C元素K峰优于54eV。

主要功能：

场发射扫描电子显微镜可对样品实现超高分辨率的微观形貌观察，配备了安装在镜筒内正光轴上的环形二次电子（In-lens）和能量选择背散射式In-lens Duo探测器，带有能量过滤栅网，可分别获得二次电子或背散射电子图像，在低电压下，其二次电子和背散射电子均具有卓越的分辨能力；样品室二次电子探测器；角度选择背散射电子探测器（AsB）；X射线能谱仪（EDS）；红外CCD相机。通过接收特征X信号，能快速进行样品元素高精度的点、线、面扫描分析。利用氩离子抛光系统(配备有液氮冷台)对样品进行扇形截面（扇形角度为10到90度可调）和平面抛光，可实现对页岩纳米孔隙的观测。无