典型用户

场发射扫描电子显微镜

电镜制样设备品牌：日立型号：S-4800

仪器名称：

场发射扫描电子显微镜

英文名称：

field emission scanning electron microscopy

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 图像分析仪

学科领域：

物理学

主要技术指标：

二次电子分辨率:1.0nm(15 kV); 2.0 nm(1 kV), 背散射电子分辨率:3.0 nm(15 kV), 电子枪:冷场发射电子源,加速电压:0.5~30 kV（0.1 kV/步，可变）,放大倍率:×30 ~ ×800,000。X射线能谱仪的元素分析范围为Be4~U92。喷金喷碳装置可以通特定的气氛保护样品

主要功能：

场发射扫描电镜，由于分辨率高，为纳米材料的研究提供了可靠的实验手段。另外，对半导体材料和绝缘体，都能得到满意的图像，对超导薄膜，磁性材料，分子束外延生长的薄膜材料，半导体材料进行了形貌观察，并对多种材料进行了微区成份分析，均能得到满意的结果。

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