典型用户

三离子束切割仪

样品前处理工作站品牌：ICA 型号：Leica EM TIC 3X

仪器名称：

三离子束切割仪

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 样品前处理及制备仪器 > 超薄切片机

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

适用于多层膜材料、软硬复合材料等高难度材料，可有效避免涂抹效应，暴露样品细微结构可容纳最大样品尺寸50×50×10mm 三把离子枪，离子束能量1keV 10keV，切割速率150μm/h(Si@10kV,50μm切割高度）离子束处理过程中样品位置固定，无需偏转运动，无投影效应，热传导性好可进行离子束切割或刻蚀，可选择任意离子枪

主要功能：

备横切面和抛光表面。用于扫描电子显微镜 (SEM)、微观结构分析 (EDS、WDS、Auger、EBSD) 和 AFM 科研工作。

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