典型用户

分子束外延生长和镀膜系统

分子束外延(MBE) 品牌:真空

仪器名称:
分子束外延生长和镀膜系统

英文名称:

所属分类:
工艺试验仪器 > 其他 > 其他

学科领域:
材料科学

主要技术指标:
极限真空≤1E-5Pa(经烘烤除气后),单衬底固定,可放置10×10cm2方形样品

主要功能:
外延是一种制备单晶薄膜的新技术,它是在适当的衬底与合适的条件下,沿衬底材料晶轴方向逐层生长薄膜的方法。该技术的优点是:使用的衬底温度低,膜层生长速率慢,束流强度易于精确控制,膜层组分和掺杂浓度可随源的变化而迅速调整。用这种技术已能制备薄到几十个原子层的单晶薄膜,以及交替生长不同组分、不同掺杂的薄膜而形成的超薄层量子显微结构材料。在超高真空条件下,由装有各种所需组分的炉子加热而产生的蒸气,经小孔准直后形成的分子束或原子束,直接喷射到适当温度的单晶基片上,同时控制分子束对衬底扫描,就可使分子或原子按晶体排列一层层地“长”在基片上形成薄膜,即共蒸发。

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