多功能微纳器件与电路测试分析系统（2018）
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中国科学院微电子研究所
中国科学院微电子研究所拥有电路在片测试系统D）、高性能示波器、PECVD非晶硅淀积设备 （8寸）（J）、涂胶显影机（8寸）（ J）、取样示波器(九室)、傅立叶红外光谱仪（H）、光学光刻机（C）、高频大宽带矢量信号发生系统、引线键合机（九室）、高性能宽带示波器（D）等科研仪器。
相关仪器品类
所使用品牌
安捷伦
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