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微区微量元素分析场发射扫描电镜

扫描电镜(SEM) 品牌:日本电子 型号:JSM-7900F

仪器名称:
微区微量元素分析场发射扫描电镜

英文名称:
Microelement Analysis Field Emission Scanning Electron Microscope

所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域:
材料科学 冶金工程技术 化学工程

主要技术指标:
分辨率:0.6 nm at 15 kV,0.7 nm at 1 kV;放大倍数:10-50万倍;加速电压:0.01 kV~30 kV;束流强度:1 pA到500 nA;样品台最大偏压:5 kV;探测器:高位探测器(UED)、低位探测器(LED、背散射电子探测器(RBED)、平插能谱仪探测器(EDS);EDS晶体活区:四个独立的高速SDD芯片成环形,面积为60 mm2;EDS能量分辨率:在100,000 CPS条件下Mn Kα保证优于129 eV;EDS最大输出计数率:1,600 kcps

主要功能:
实现在观察样品微观形貌的同时,对感兴趣微区的元素进行含量和价态分析

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