场发射扫描电镜
扫描电镜（SEM）
品牌：AC
型号：SU8010
仪器名称：
场发射扫描电镜
英文名称：
Field Emission Scanning Electron Microscope
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
物理学
主要技术指标：
设备分辨率可达1.0nm (15kV，WD=4mm)。加速电压为0.1 -30kV，0.1kV/步。放大倍率为×20 -×800,000底片基准和×60-×2000,000显示器基准。束流强度：1pA-2nA。
主要功能：
对刻蚀后线条断面的测量进行数据分析。
