典型用户

扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：TE 型号：VEGA3XMU

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

技术参数： 1.分辨率:高真空(二次电子)3.0nm at 30keV，8.0nm at 3keV (背散射电子): 3.5 nm at 30 keV 低真空(低真空二次电子)：3.5 nm at 30 keV 2.放大倍数:1 to 1000000× 3.真空系统: 低真空3~2000Pa 4.加速电压0.2KV to 30KV 5.电子束电流1pA—2uA 6.样品室内部尺寸:285mm(width)×340mm(depth) 7.样品台行程:(5轴马达控制） X=130mm Y=130mm Z=100mm T=-30°到+90° R=360°连续最大样品高度145mm. 样品台最大承受重量10Kg，是现有可载重最大的扫描电子显微镜之一。 *U型为高低可变真空，H型为高真空电镜

主要功能：

对各种样品表面进行形貌观察。