典型用户

X射线光电子能谱仪

X射线能谱仪(EDS) 品牌：飞世尔型号：K-ALpha+

仪器名称：

X射线光电子能谱仪

英文名称：

X-ray photoelectron spectroscopy

所属分类：

分析仪器 > X射线仪器 > X射线能谱仪

学科领域：

化学材料科学

主要技术指标：

1分辨率及灵敏度：1.1 能量分辨率≤0.5 eV（对Ag3d5/2峰的半高宽，干净的银标样）；1.2在束斑大小为400μm且光源功率＜80W的实验条件下，当Ag3d5/2峰的半高宽≤1.0eV时，计数率≥4,000,000 cps。2 能量分析器：2.1 能量扫描范围5eV-1500eV,最小能量步长3meV； 2.2 通过能为1-400eV，连续可调。3 微聚焦单色化（Al Kα）X射线源：3.1最小聚焦获得束斑≤30 µm；3.2束斑面积从30μm至400μm聚焦连续可调，步长不超过5µm。4 真空系统：分析室极限真空度，应优于5×10-9 mbar（无液氮冷肼辅助）。5 离子枪：5.1能量范围：100-4000 eV；5.2 最大束流：4 µA；5.3离子能量3 keV，束流3.5 µA时束斑不大于500 µm。6 自动化电荷中和源：6.1 离子和电子双束混合中和源；6.2 自动可控。7 角分辨XPS：7.1 精控步进马达样品托，角度分辨优于1°；7.2 软件内置角分辨XPS数据处理功能，并能实现膜厚计算等功能。

主要功能：

对固体表面10nm内成分进行表征，包括元素的定性分析，半定量分析，原子价态，提供化学键和电荷分布方面的信息，膜深度刻蚀信息等

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山西师范大学拥有植物生长培养间、冷场发射扫描电子显微镜、超高效液相色谱仪、固体核径迹读取系统、导脑事件相关电位研究分析系统、超导核磁共振波谱仪、扫描显微镜、无液核综合物性测量系统、倒置激光共聚焦显微镜、X射线单晶衍射仪等科研仪器。

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