探针台

仪器名称：

探针台

英文名称：

TNP

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 电子探针

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

1) 手动龙门(Gantry)：可以较快速的将显微镜移动到需要测试的位置，分辨率10um； 2) 超长工作距离显微镜(Microscope)：10X目镜，以2X/10X/20X/50X物镜（均为超长工作距离），总倍率为20X~1000X； 3) 探针座(Positioner)：X-Y-Z 移动精度:100T.P.I(0.7um) 可移动距离:12mm*12mm*12mm； 4) 背光源(Back Light Unit)：自炽灯+扩散板，约600mm*450mm ，最大20000流明，平台左上角(靠近操作人员) 150mm*150mm 为hot chuck 面积，左下角部分设计成真空吸附部分，面积150mm*350mm。

主要功能：

通过探针进行微观形貌检测。