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双腔型等离子增强原子层沉积系统

原子层沉积系统(ALD) 品牌:嘉兴科民电子设备有限公司 型号:PEALD-D100R

仪器名称:
双腔型等离子增强原子层沉积系统

英文名称:
Ningbo University of Technology

所属分类:
工艺试验仪器 > 其他 > 其他

学科领域:
物理学 化学

主要技术指标:
由热型和等离子反应腔组成的的两个独立的真空反应腔室组成

主要功能:
常见氧化物,氮化物以及贵金属单质薄膜的沉积

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