典型用户

超低温热真空环境试验箱

液氮罐品牌：CS 型号：HUT2000MC

仪器名称：

超低温热真空环境试验箱

英文名称：

Space Simulator

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

产品应用相关工程与技术航空、航天科学技术

主要技术指标：

"温度范围：-70℃~150℃，温度精度：±1℃（在稳定时热沉的测量值），温度均匀性：平均值±2℃（在稳定时热沉的测量值），温度变化速率（带载）：升温：大于2℃/min（-65℃~85℃），降温：大于2℃/min（85℃~-65℃），负载：真空下，30kg负载+250W发热量。冷板温度范围：-70℃~150℃。温度传感器（13根）：-70℃~150℃。真空度：极限真空度（空载）：1×10-5Pa；室温真空度：5×10-5Pa（3小时到达）；高温真空度：5×10-4Pa（100℃下，5小时到达）。"

主要功能：

通过热真空试验，可以对空间用元器件热真空环境下的性能和可靠性进行试验评价，为航天用户单位合理选用空间元器件提供科学依据。可以在更早阶段暴露产品中隐藏的缺陷，避免重大损失，具有积极的作用。

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典型用户

中国电子技术标准化研究院

北京市科研单位

中国电子技术标准化研究院拥有激光厚度测量仪、分立器件静态参数测试系统、球面近远场天线测量系统、两槽位万兆高性能安全测试仪、VERIGY 93000集成电路测试系统升级、静电放电敏感度测试仪、EMS测量系统、实时频谱分析仪、气相色谱质谱仪、自动分选机（德国）等科研仪器。

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