典型用户

激光测振仪

测振仪品牌：TE 型号：MSA500

仪器名称：

激光测振仪

英文名称：

Opto scanner

所属分类：

分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 激光共焦显微镜

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

非共面测量最大频率： 1MHz 非共面测量速度分辨率：<1um/s 非共面位移测量精度：1 picometer 面内测量的频率范围：1Hz~1MHz 面内测试位移分辨率：1nm 形貌测试像素分辨率：0.5um 形貌测试Z方向分辨率：<1nm

主要功能：

异面振动测量的激光多普勒技术；共面振动测量的频闪成像技术；三维形貌测量的白光干涉技术；

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