典型用户

扫描电子显微镜

电镜制样设备品牌：蔡司型号：Sigma 300

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

物理学

主要技术指标：

1、最大能测量8寸晶圆 2、可实现1 nm @15 kV成像，1.8nm@1kV 3、放大倍率：10-1,000,000倍4、样品台最大移动范围指标：X≥120mm，Y≥120mm，Z≥45mm，双向倾斜，倾斜范围-10° ～ 90°，旋转=360°（连续旋转）；5. EBL可实现最大1000 微米曝光，最小线宽可至20纳米级。

主要功能：

形貌表征、电子束曝光

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典型用户

北京航空航天大学青岛研究院

山东省高校

北京航空航天大学青岛研究院拥有扫描电子显微镜、磁场真空退火系统、微型CT、液氦低温磁光测量系统、运动捕捉系统、面内低温磁场探针台、隧穿磁电阻比率测量仪、EMC电磁兼容测量接收机、原子力显微镜、多功能磁光克尔成像系统等科研仪器。

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