扫描电子显微镜
电镜制样设备
品牌:蔡司
型号:Sigma 300
仪器名称:
扫描电子显微镜
英文名称:
所属分类:
其他仪器 > 其他 > 其他
学科领域:
物理学
主要技术指标:
1、最大能测量8寸晶圆 2、可实现1 nm @15 kV成像,1.8nm@1kV 3、放大倍率:10-1,000,000倍4、样品台最大移动范围指标:X≥120mm,Y≥120mm,Z≥45mm,双向倾斜,倾斜范围-10° ~ 90°,旋转=360°(连续旋转);5. EBL可实现最大1000 微米曝光,最小线宽可至20纳米级。
主要功能:
形貌表征、电子束曝光