高分辨场发射扫描电镜
扫描电镜(SEM)
品牌:FEI公司
型号:FEI Verios 460
仪器名称:
高分辨场发射扫描电镜
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
1.1 二次电子分辨率:优于0.6 nm (2kV – 15kV范围内);0.7 nm@1kV;1.0nm@0.5kV;1.2nm@0.2 kV 1.2 放大倍率:40 ~ 900,000倍 根据加速电压和工作距离的改变,放大倍数自动校准 1.3 加速电压:0.05 ~ 30 kV,着陆电压:0.02 ~ 30kV 1.4 电子枪:带电子束单色器技术的超高亮肖特基场发射电子枪 1.5 电子束流:0.8pA ~ 100 nA,连续可调 1.8 60°锥度物镜几何设计,恒功率双物镜系统(电磁透镜和静电透镜) 1.9 自动式物镜光阑:物镜光栏应能自加热自清洁;无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑,15孔可调光阑
主要功能:
形貌表征,EDS电子能谱