典型用户

Si 高温氧化炉

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：AMP 型号：Oxidator150-5

仪器名称：

Si 高温氧化炉

英文名称：

Oxidator

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

为了能获得质量更高的SiO2氧化层，增强SiO2/SiC界面质量，提高沟道迁移率，氧化工艺通常采用的气体为N2O或NO等有毒气体

主要功能：

通过腐蚀氧化层之后，能有效去除表面损伤层，露出具有完整晶格结构的SiC表面，形成良好的金属半导体接触。

典型用户

新型功率半导体器件国家重点实验室

北京市科研单位

新型功率半导体器件国家重点实验室拥有IGBT集电极-发射极阻断断测试台、IGBT功率循环测试台、高温反偏阻断台3#、扫描电子显微镜、高温反偏阻断试验台、IGCT综合测试设备、Si 高温氧化炉、IGBT动态测试台、IGBT被动热循环测试台、电子直线加速器等科研仪器。

EMS

53台仪器 9家供应商

时代

28台仪器 4家供应商

Dynex

2台仪器 1家供应商

AMP

1台仪器 1家供应商

荷兰AC

0台仪器 1家供应商