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手套箱集成高真空蒸发镀膜系统

手套箱 品牌:上海米开罗那机电技术有限公司 型号:非标定制

仪器名称:
手套箱集成高真空蒸发镀膜系统

英文名称:
glove box with Vacuum evaporation coating system

所属分类:
工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电真空器件工艺实验设备

学科领域:
化学 材料科学

主要技术指标:
采用4+3双手套箱系统,在4手套箱内安装真空镀膜腔室和测试光路,在3手套的箱体装入匀胶机进行样品配制和薄膜加工。双手套箱各自具有独立的水氧循环监控系统,保证水氧含量低于1ppm。方形真空腔室采用不锈钢材质,内部体积:63L,保证具有足够的操作空间。设备采用国产机械泵和进口分子泵组合,在30分钟内,实现从标准大气压抽气到真空度≤2×10-4Pa。配置2组金属蒸发源和2组有机蒸发源,满足日均4批次以上的器件制备。

主要功能:
手套箱内真空镀膜系统具有高真空金属(氧化物)电阻蒸发薄膜沉积装置,同时满足惰性气体环境的样品制备、器件检测及后期处理等。适用于有机和无机电子学器件制备。

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