典型用户

扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：日立型号：SU8010

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

SEM

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

化学

主要技术指标：

放大率与普通光学显微镜不同，在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率由屏幕/照片面积除以扫描面积得到。所以，SEM中，透镜与放大率无关。场深在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。作用体积电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。作用体积的厚度因信号的不同而不同：欧革电子：0.5～2纳米。次级电子：5λ，对于导体，λ=1纳米；对于绝缘体，λ=10纳米。背散射电子：10倍于次级电子。特征X射线：微米级。 X射线连续谱：略大于特征X射线，也在微米级。

主要功能：

扫描电子显微镜具有由三极电子枪发出的电子束经栅极静电聚焦后成为直径为50mm的电扫描电子显微镜的原理和结构示意图扫描电子显微镜的原理和结构示意图光源。在2-30KV的加速电压下，经过2-3个电磁透镜所组成的电子光学系统，电子束会聚成孔径角较小，束斑为5-10m m的电子束，并在试样表面聚焦。末级透镜上边装有扫描线圈，在它的作用下，电子束在试样表面扫描。

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