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场发射扫描电子显微镜

扫描探针显微镜SPM(原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM) 品牌:捷克 型号:NOVA NANOSEM450

仪器名称:
场发射扫描电子显微镜

英文名称:
scanning electron microscope

所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜

学科领域:
地球科学 生物学 材料科学 环境科学技术及资源科学技术

主要技术指标:
分辨率:高真空:1.0nm(15kV),1.4nm(1kV) 低真空:1.8nm(3kV,采用Helix探头) 聚焦范围:模式I为1mm~60mm,模式Ⅱ为1mm~7mm(1kV) 加速电压:50V~30kV,连续可调 电子束流:可达200nA 放大倍数:100~600000 倾斜角度:-15°~75° 样品台移动范围:X=Y=110mm,Z=25mm

主要功能:
扫描电镜主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样品,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射,从而产生样品表面放大的形貌像。它可用于化学、物理、地质、材料、生物、医学等各个领域,实现固体样品的微观形貌观察;配备的背散射探头可获得样品的成分衬度图片;配备的低真空探头可对不导电样品进行形貌及成分分析。

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