扫描电镜
扫描电镜(SEM)
品牌:蔡司
型号:ZEISS Sigma 500
仪器名称:
扫描电镜
英文名称:
ZEISS Sigma 500 SEM
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域:
化学 地球科学
主要技术指标:
分辨率: 0.8nm @15 kV 1.6 nm @1kV
放大倍数:10-1,000,000×
加速电压:调整范围:0.02-30 kV(无需减速模式实现)
探针电流: 4pA-20nA (40nA&100nA可选)
低真空范围:2-133Pa(Sigma 500VP可用)
样品室: 358 mm(φ),270.5 mm(h)
样品台:5轴优中心全自动
X=125 mm(可选130mm)
Y=125 mm(可选130mm)
Z=50 mm
T=-10o-90o
R=360o 连续
系统控制:基于Windows 7的SmartSEM操作系统,可选鼠标、键盘、控制面板控制
主要功能:
扫描电镜广泛用于材料科学(金属材料、非金属材料、纳米材料)、冶金、生物学、医学、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害的防治、灾害(火灾、失效分析)鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、工业生产中的产品质量鉴定及生产工艺控制等。在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域,进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察,材料断口分析和失效分析,材料实时微区成分分析,元素定量、定性成分分析,快速的多元素面扫描和线扫描分布测量,晶体/晶粒的相鉴定,晶粒尺寸、形状分析,晶体、晶粒取向测量。