扫描电子显微镜
扫描电镜(SEM)
品牌:JEOL
型号:JSM6490LV
仪器名称:
扫描电子显微镜
英文名称:
SEM
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
分辨率: 小于3.0nm (30kV,高真空,钨灯丝,二次电子);
小于4.0nm(钨灯丝,背散射电子)
加速电压最小范围:0.5~30KV, 10V/步
放大倍数范围:20~300,000 倍
真空系统:高真空度:1.5×10-3Pa;低真空度:6-270Pa;
电子束扫描控制: 扫描模式:点、线、面、选区。
能谱仪Si(Li)探测器:分辨率优于133eV,
能谱探测器的有效面积:10mm2;
能谱元素分析范围:B5~U92
主要功能:
扫描电镜是在加速高压作用下,将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束。在试样表面进行扫描,激发出各种信息,通过对这些信息的接收、放大和显示成像,以便对试样表面进行分析。